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AURION bietet speziell auf Ihre Anforderungen zugeschnittene Mehrkammeranlagen mit Substrathandhabung unter Vakuum an. Die erhältlichen Konfigurationen umfassen Schleusenkammern, Transferkammern und Prozessmodule für Sputter- und RIE-Prozesse.

• Verstellbar • Mit Blende Wir liefern dieses Produkt in verschiedenen Lochabständen und Gurtaufnahmen: Lochabstand 135 mm mit Gurtaufnahme 5,0 m, Lochabstand 161 mm mit Gurtaufnahme 5,5 m, Lochabstand 186 mm mit Gurtaufnahme 5,5 m oder 10,0 m, Lochabstand 215 mm mit Gurtaufnahme 10,0 m oder 12,0 m, Lochabstand 256 mm mit Gurtaufnahme 15,0 m

• Edelstahl K 240 geschliffen • Rund • Ohne Gummieinlagen • Mit allgemeiner bauaufsichtlicher Zulassung Wir liefern dieses Produkt für Rohr-Ø: flach, 42.4, 33.7, 48.3